光刻機調焦機構移動軸帶動著不停地進行細微移動,表面粗糙度達不到要求,會造成摩擦,從而形成位移誤差,這個誤差將會是好幾個0.01毫米。
而這玩意兒的製造工藝精度是1微米,也就是0.001毫米!
正在修理的這臺光刻機,這東西不僅變形了,同時也磨損了。
顯微鏡什麼的都是好的。
只要解決了對焦系統的精度問題,確保工作臺的移動精度能達到,再把其他的一些非核心關鍵的電子部件更換,就能使用。
光刻機最重要的就是動作臺部分,相當於晶片電路母版的樣片在生產過程中裝在光刻機上面,只要不出問題,就不會更換,不斷地透過物理方法或化學方法把樣片上的電路圖複製到矽基片上。
其實就相當於膠捲底片,可以不斷地洗出同樣的照片。
掩膜版能否在規定的位置,決定了晶片所有電路的位置。
否則,這方面的製造要求也不會如此高。
粱老在工作的時候,跟之前老人形象完全不同,手中的動作穩,準,快。
這都是需要耗費時間的,一個拇指大的零件,從最開始表面還能看到銑刀加工痕跡或者比較粗的砂紙打磨痕跡都開始消失,再到最後,粱老把這零件放到玻璃板上面,開始用粗麻布進行拋光,在拋光的時候,依然不停地測量。
逐漸地,原本還是銀白金屬色的零件,開始反光,最後向著鏡子表面發生變化,越來越亮,直到後面能照出人影。
這種手工能達到的程度,謝凱看過,所以不覺得震撼。
而其他沒有見過的人,眼珠子都凸出來了。
僅僅這樣一個零件,就花了粱老整整兩個小時的時間!
“換03號零件。”粱老小心地用絲綢把玻璃上細微的灰塵擦掉,對著謝凱說道。
“休息一下吧,這都幹了兩個小時了。”謝凱有些心痛這老人,塊七十了呢。
這種工作看起來強度很小,對於體力的消耗相當快,一直都得讓精神處於高度集中的狀態。
“這才多一會兒?調平機構的球座跟半球都得搞,那個需要的時間更多。”老頭搖頭。“不過把那個搞了,其他也沒有多難的東西了,畢竟這東西關係到樣片的調平,稍微偏差,投影的尺寸就會出問題。我們自己知道安排休息。”
謝凱沒有再廢話,直接把一個半球型的零件遞給了老頭。
重複之前的工作,一開始使用銼刀,然後砂紙,再然後則是布匹。
處理這個半球狀的零件,粱老沒有用任何測量工具,而是以光刻機上面原本就有的零件來不停地裝,不停地修改某些地方。
這一次的時間很長,一直花了四個半小時,才讓半球的表面呈現出鏡子一樣的光亮。
其他老頭都是一樣,都是靠著手中的銼刀,砂紙不停加工。
經過他們處理,各種零件跟原本691廠加工出來的完全是兩碼事。
“表面看起來比原裝的還好,尺寸精度沒有問題吧?”陳同安看著反光的各種零件,心中覺得完全不可思議。
不過這樣的表面程度,只要有充足的時間,剛剛出徒的學徒工,也能加工出來。
尺寸精度,才是決定裝置精度的。