第697章 全新一代產品釋出，徹底開卷 （4 / 80）

對比之下，蝕刻機的結構組成就要簡單很多，主要是等離子體射頻源、反應腔室和真空氣路等組成。

哪怕如此，中微半導體能夠把蝕刻機徹底搞定，對於華夏晶片裝置產業來說，意義也是非同尋常的。