“岸然，這事我必須當面和你說清楚，這七套裝置雖然都是1.5微米制造工藝，不過其中有四臺，和其他的有些區別。”
王岸然一下來了興致。
“有什麼不一樣？”
“有三臺使用的是高壓汞燈i線365奈米光源，而另外四臺……”
“張教授，你倒是說啊！”
張大京嘴角帶著笑，指著王岸然說道：“岸然，我一直以為你比別的年輕人沉得住氣，現在看來，只是沒找到你感興趣的東西啊！”
王岸然白了張大京一眼，說道：“張教授，你再不說，我可要翻臉了啊！”
“好！好！”張大京搖搖頭，說道：“岸然，有四臺使用的是Krf248奈米準分子鐳射光源。”
額，王岸然感覺呼吸都有些急促，krf準分子鐳射光源有兩種波長，一種是248奈米，另外一種就是193奈米。
這跟高壓汞燈光源不一樣的是，高壓汞燈光源還屬於可見光，而krf準分子鐳射已經邁入紫外線的範疇。
雖然國內早已經開始了krf準分子鐳射的研究，而且取得了相應的成果，不過適用於光刻的248奈米光源，要求的是百焦級別的高功率，以及粒子均勻性要在千分之零點三的範圍內。
門檻就在這裡。
事實上，IBM早在1980年就將krf準分子鐳射光源用於半導體光刻，而十五年過後，對國內來說，還是一道深不可測的技術門檻。
沒想到，這玩意竟然被張大京搞來了……
王黯然忙問道：“張教授，我記得鐳射光源是瓦森納協議中禁止貿易的，你怎麼……？”
“岸然，你錯了，瓦森納協議中限制出口的列表，今年沒有把248奈米krf列入其中。
不過需要說明的是，這款鐳射器是不可以用作軍事用途的，所以，他們會派人監管，並定期檢查的。”
自己的訊息還是滯後了啊！
王岸然搖搖頭，如果248奈米光刻機解除禁運的話，國外已經在193奈米光刻機的應用上有了長足的進步，甚至在深紫光上有了突破。
原因很簡單，瓦森納協議的核心就是N2政策，西方審批出口的依據就是，對華出口的裝置必須是落後兩代。
而實際上，審批程式很複雜，等真拿到裝置的時候，差不多已經是第三代的了，基本上比起國際主流的技術要落後10年左右。
這也沒辦法，王岸然喝了一口水，他想到一件事，忙問道：“張教授，這條晶片生產線，可以……”
張大京打斷王岸然的話，說道：“岸然，這是我另外要說的一件事，248奈米鐳射光源光刻機，可以經過改造，用於1微米制程的晶片生產，不過，涉及一系列複雜的光學曝光技術，這些專利是要折算成資金入股的！”
這個王岸然沒有意見，如果能改造成沉浸式光刻機，320奈米制程都沒問題。
張大京拿出一份檔案遞給王岸然。
“股權結構？”
張大京點點頭。
王岸然翻開一看，愣住了。
7億美金只佔了35%的股份，張大京團隊以技術入股，佔15%的股份，張大京自領5%的乾股，後面跟著一大串投資人。
王岸然還看到了老夥計高盛，還有新加坡投資集團，灣島國際等，這麼多家，一共才出資3億美元，加部分專利授權，佔股45%。