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&n光刻機和65nm光刻機的物鏡,的確實現了國產化。但45nm浸沒式光刻機對於物鏡的要求更高,目前國內還生產不了。
博隆光學正在聯合國內的有關企業進行攻關,什麼時候出成果還不好說,因此胡楊也很無奈。
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