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為了獲得科技部的支援,李飛前往燕京市,與張教授解釋,關於浸入式光刻機技術授權國外光刻機公司,
因為光刻機是高科技技術產品,技術是十分複雜而又精密,其產品構造是由:自動對準系統,掩膜傳輸系統,物鏡系統,光源系統…,而這些光刻機系統,所涉及的領域:精密材料,精密晶片,精密光學…,
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